Les lampes constituent une source de chaleur particulièrement adaptée dans l’industrie des semi-conducteurs, du fait de leur contrôlabilité et la montée très rapide en température. La chaleur peut en outre être concentrée par l’emploi de réflecteurs.
Les lampes halogènes infrarouges de Dr Fischer ont été spécialement conçues pour les applications de chauffage dans l’industrie des semi-conducteurs tels que l’épitaxie, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le processus thermique rapide (RTP) et le processus de re-cuit après implantation ionique.
Ces lampes sont des sources de chaleur de grande puissance et leurs spécifications garantissent une stabilité très élevée pendant toute la durée de vie de la lampe pour le traitement de semi-conducteurs. Des concentrations élevées d’énergie rayonnante sont fournies par les lampes infrarouges. La pleine puissance est atteinte en quelques centaines de millisecondes après mise sous tension. Le rendement de la lampe est entièrement contrôlable, avec réglage instantané du niveau de rayonnement requis entre 0 et 100%. Cela signifie que la température de la plaquette en silicium peut être modulée avec précision sur une vaste gamme pour répondre exactement aux spécifications du processus. La reproductibilité du processus est garantie par la possibilité de délivrer à chaque fois exactement la même dose de chaleur à la plaquette de silicium.

Ci-dessous les produits concernés par l’application SEMI-CONDUCTEURS

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