Halbleiter
Anwendungen
Infrarottechnologie im Halbleitersektor
In der Halbleiterproduktion ist Präzision auf engstem Raum gefragt. Prozesse wie Rapid Thermal Processing (RTP) erfordern extrem schnelle Temperaturänderungen innerhalb weniger Sekunden – und das ohne Kompromisse bei Qualität, Prozessstabilität oder Sicherheit.
Um dies zu erreichen, sind zuverlässige und kontrollierbare Wärmequellen unerlässlich. DR. FISCHER Europe ist seit vielen Jahren ein zuverlässiger Partner der Industrie und bietet maßgeschneiderte Infrarotlösungen, die genau auf diese hohen Anforderungen zugeschnitten sind. Unsere Technologien unterstützen wichtige Produktionsschritte mit maximaler Effizienz und ermöglichen reibungslose, wiederholbare und leistungsstarke Fertigungsprozesse.
Rapid Thermal Processing (RTP)
Bei der RTP werden Siliziumwafer für einige Sekunden auf über 1.000 °C erhitzt. Ebenso wichtig wie die schnelle Erwärmung ist die kontrollierte Abkühlung, um thermische Spannungen, Versetzungen und Bruch des Wafers zu vermeiden.
Unsere hochintensiven Infrarotstrahler machen dies möglich:
- Extrem schnelle Heizzeiten
- Gleichmäßige Temperaturverteilung
- Hohe Prozessstabilität
Typische Anwendungsgebiete:
- Aktivieren von Dotierstoffen
- Thermische Oxidation
- Metall-Reflow
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
Neben der RTP-Technologie werden unsere IR-Systeme auch in vielen anderen Bereichen der Halbleiterindustrie eingesetzt:
Verpackung von Halbleitern
Präzise Wärmequellen sind im Packaging-Prozess von Mikrochips entscheidend – z.B. beim Löten oder Kleben. Unsere IR-Lösungen sorgen für reproduzierbare Ergebnisse mit hoher Energieeffizienz.
Solarzellenproduktion
Auch die Photovoltaik-Industrie profitiert von unseren Wärmelösungen, zum Beispiel bei:
- Dotier- und CVD-Prozesse
- Laminieren
- Temperierung von Solarzellen
Weitere Anwendungsgebiete
Unsere Zwillingsstrahler und andere IR-Produkte werden in verschiedenen Stufen der Halbleiterproduktion eingesetzt – immer dann, wenn schnelle, präzise und saubere Wärme benötigt wird.
Unsere maßgeschneiderten Lösungen
UV-Systeme
UV-LED- (oder Lampen-) Systeme zum Aushärten von UV-härtenden Klebstoffen
IR-Systeme
IR-Systeme zur Trocknung von lösungsmittelhaltigen Klebstoffen
UV- und IR-Lampen
UV- und IR-Lampen, angepasst an verschiedene Klebstoffherstellungsverfahren